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Lubricants for the Cleanroom Technology
介绍 摩擦学特性而且满足无尘技术的特殊需求,如颗粒的数量和大小。因此LOSIMOL无尘室润滑脂根据以上两点进行分类。
图.1 润滑脂的颗粒发散 因此定位仪的粒子和润滑剂摩擦释放出来的粒子都被检测到。图表显示每种润滑脂的发散颗粒的数量有着很大的差别。 Fig.2:Relative frequency of the Classes of Particle Size (size in um) 颗粒物大小分布 除了颗粒的发散,对于许多应用中发散颗粒大小的分布也是一个重要的选择标准。 因为不同润滑脂可能散发许多完全不同颗粒大小分布的微粒。 依赖产品的污染灵敏度会导致不同程度的污染。 LOSIMOL无尘室润滑脂 工业中的许多产品(如微电子和光学工业)对于颗粒污染变得越来越敏感。为了降低颗粒污染,这就意味着需要高无尘等级的产品。在生产过程中生产环境的清洁只有通过生产设备,产生和释放尽可能少的颗粒物来保证。设计和操作的设备根据无尘室适合性的需求来满足这个要求。 因为典型的设备需要被润滑如发动机,发动机传输部件或轴承,合适的无尘室润滑剂的选择变得尤为重要。 以下你可以发现适宜无尘室润滑剂的重要标准:
目前由于用于无尘室的许多润滑脂总是不满足以上这些要求,LOSIMOL开发研制了一系列特殊无尘室润滑脂。他们已经通过在 佛朗赫弗协会的半导体制造设备和德国斯图加特自动控制(IPA)测试中心测试无尘室等级为一级。 粒发散水平可能不同甚至超过100%。发散颗粒的大小分布也同样依赖所使用的润滑剂。 |
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